литография с последовательным шаговым экспонированием

žingsninė litografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. step-and-repeat lithography; stepper lithography vok. schrittweise Belichtungslithografie, f rus. литография с последовательным шаговым экспонированием, f; последовательная шаговая литография, f pranc. lithographie à exposition pas à pas, f